随着水污染的加重，人们开始意识到水资源的重要性，尤其是工业生产的用水要求极为严格，超纯水设备使用广泛。在使用了一段时间，无论是自来水还是超纯水设备中都会出现。而超纯水设备在使用中都会出现水垢影响出水质量和效果，还会减少设备的使用寿命。
其去除的方法主要是加药去垢，按每吨水量加药氢氧化钠和磷酸三钠各2.5公斤煮炉。当然根据热规和蒸规要求建议上套树脂软化水，水垢耗能的成本远远高于软化水的成本。
1、溶解度下降随着设备水温度的升高，设备水中某些盐类溶解度下降，如CaS04和CaSi03等盐类。
2、相互反应，给水中原溶解度较大的盐类和设备水中其他盐类、碱反应后，生成难溶于水的化合物，从而结生水垢。
3、水渣转化，当设备内水渣过多时，而且又粘，如Mg(OH)2和Mg3(P04)2等，如果排污不及时，很容易由泥渣转化为水垢。
4、受热分解，含有暂时硬度的水进入设备后，在加热过程中，一些钙镁盐类受热分解，从溶于水的物质转变成难溶于水的物质，附着于设备金属表面上结为水垢。
5、某些盐类超过了其溶解度由于设备水的不断蒸发和浓缩，水中的溶解盐类含量不断增加，当某些盐类达到过饱和时，盐类在蒸发面上析出固相，结生水垢。
